Vacuum Inline RF Plasma Ekipman

Ekipman vakyòm Inline RF plasma a se yon moso espesyalize nan ekipman devlope pou netwaye ak aktivasyon sifas tablo sikwi enprime yo, patikilyèman pou aplikasyon pou substra IC. Li se sitou itilize apre etap fim sèk D 'ak pòs-kouvwi mask soude, kote preparasyon sifas apwopriye se kritik pou amelyore fòs adezyon ak asire pi wo fyab pandan pwosesis ki vin apre yo. Lè w aplike tretman plasma andedan yon chanm vakyòm kontwole, sistèm nan efektivman retire résidus òganik ak kontaminan sifas yo, amelyore pèfòmans an jeneral lyezon ak bon jan kalite pwodwi.

Yon karakteristik diferan nan ekipman sa a se achitekti doub-chanm li yo. Chak chanm poukont ekipe ak yon ponp vakyòm ak yon dèlko plasma RF, ki pèmèt swa operasyon paralèl oswa altène itilizasyon. Sa a pa sèlman ogmante debi, men tou bay fleksibilite operasyonèl. Pou kenbe estabilite alontèm-, sistèm nan entegre yon modil refwadisman -bouk fèmen ki asire tanperati fonksyone ki konsistan pou tou de ponp ak sous plasma. Pou liy pwodiksyon ki mande automatisation, si ou vle chaje ak dechaje mekanis ka ajoute pou misyon pou minimize manyen manyèl ak fasilite koneksyon san pwoblèm ak ekipman en ak en.

Koule materyèl nan sistèm nan fèt ak anpil atansyon. Yo lage tablo yo nan estasyon an antre epi yo sekirize pa pinza robo, ki Lè sa a, mete substrats yo nan yon sub-ankadreman. Sipòte pa yon platfòm asansè ak woulèt kondwi, ankadreman yo transpòte nan chanm vakyòm pou tretman plasma. Yon fwa pwosesis fini, woulèt yo menm transfere ankadreman yo soti nan chanm lan, kote grippers yo ranmase yo ankò epi remèt yo nan pwochen etap la. Sou-ankadreman an otomatikman sikile ant estasyon yo, sa ki asire yon workflow lis ak efikas san yo pa nesesè tan D '.